DBSF
DBSF (Drawing Boundary Segment Format) ist ein kompaktes Format für Polygon-Grenzdaten, das in der elektromagnetischen Simulation und in Halbleiterwerkzeugen verwendet wird.
Formatübersicht
| Eigenschaft | Wert |
|---|---|
| Dateiendungen | .dbsf |
| Kodierung | ASCII |
| Import | ✓ |
| Export | ✓ |
| Lizenz | System Interface |
Importoptionen
| Option | Beschreibung | Standard |
|---|---|---|
| Einheiten | Koordinateneinheiten der Eingabe | Mikrometer |
Exportoptionen
| Option | Beschreibung | Standard |
|---|---|---|
| Einheiten | Koordinateneinheiten der Ausgabe | Mikrometer |
Typische Workflows
GDSII → DBSF
Maskenlayoutdaten für Werkzeuge zur elektromagnetischen Simulation exportieren.
DBSF → GDSII
Simulationsgeometrie zurück in die Maskenlayoutumgebung importieren.
Technische Hinweise
- DBSF speichert Polygongrenzen als Stützpunktlisten
- Das Lizenz-Bundle System Interface ist erforderlich
- Die Hierarchie wird beim Export reduziert